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超真空阀门
针对半导体、FPD、OLED、太阳能、医疗等高端产业有着众多的出货实绩。
敝司的闸阀普遍用于蒸镀、CVD,PVD,蚀刻等工程装置。
针对半导体、FPD、OLED、太阳能、医疗等高端产业有着众多的出货实绩。
传输用闸阀
用于各个腔室之间传送闸阀。
排气系门阀
用于真空泵和腔室之间、起到条件腔室内压力的作用。
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