产品介绍
真空内部不会有金属之间的摩擦。
精简的设计，从而降低成本和阀门所占空间。
因为阀体密封面是垂直的，所以把咬合异物的风险降到低。
标准设计是动作100万次，是高耐久低维护的设计。
阀体的密封采用的是O型圈，从而降低成本。
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产品介绍
真空内部不会有金属之间的摩擦。
精简的设计，从而降低成本和阀门所占空间。
因为阀体密封面是垂直的，所以把咬合异物的风险降到低。
标准设计是动作100万次，是高耐久低维护的设计。
阀体的密封采用的是O型圈，从而降低成本。
传输用阀门 可对应200MM硅晶片~G11的玻璃基板。
关于阀门的驱动方式，根据尺寸和需求的不同也会有所不同。我们会根据开口尺寸进行提案。
驱动方式
・ROLLCAM TYPE ・TWIN ROLLCAM TYPE・BOXER TYPE ・R2R TYPE（对应Roll to Roll工序）
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He泄漏量 （密封材质为FKM的时候） |
使用温度 | 操作压力 | 保证寿命 | 阀门寿命 |
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阀体部：9.0×10^-9[Pa・m^3/s] 外部（本体）：4.0×10^-11[Pa・m^3/s] |
90℃（驱动部：60℃） | 0.5MPa | 12个月 | 100万次 |
① 排气系阀门：连接在真空泵和腔体之间，用于控制腔体内部的压力。
② 搬送系阀门：用于硅晶片和基板的搬送的阀门。用于隔开大气和真空。
此图为现在比较主流的腔体和阀门之间的示意图
