产品介绍
动作一步到位且十分准确。
精简的设计，从而降低成本和使用空间。
带有控制器可自动计算腔体压力并调价阀门到合适位置。
一台控制器可同时连接数台阀门。
阀体只需解除一颗螺丝即可拆卸。
阀体的密封采用的是O型圈，从而降低成本。
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产品介绍
动作一步到位且十分准确。
精简的设计，从而降低成本和使用空间。
带有控制器可自动计算腔体压力并调价阀门到合适位置。
一台控制器可同时连接数台阀门。
阀体只需解除一颗螺丝即可拆卸。
阀体的密封采用的是O型圈，从而降低成本。
160~350A。
如在尺寸范围外也可商谈。
运动模式
・OPEN-CLOSE和任意位置
|
He泄漏量 （密封材质为FKM的时候） |
使用温度 | 操作压力 | 保证寿命 | 阀门寿命 |
|
阀体部：1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部（本体）：4.0×10-^10[Pa・m^3/s] |
90℃（驱动部：60℃） | - | 12个月 |
开闭20万次 开~任意位置：100万次 |
① 排气系阀门：连接在真空泵和腔体之间，用于控制腔体内部的压力。
② 搬送系阀门：用于硅晶片和基板的搬送的阀门。用于隔开大气和真空。
此图为现在比较主流的腔体和阀门之间的示意图
